精密真空工况常见难题

直面传统真空泵痛点,剖析精密真空应用各类难题。

泵油返流污染腔体,精密工艺失效

油式真空泵油蒸汽返流,污染仪器腔体,造成检测失真、镀膜产品报废。

噪音振动大,不适合仪器机柜内置

传统泵噪音振动大,放置实验室或集成在设备机柜,干扰仪器与作业人员。

轴封磨损泄漏,工艺气体外泄

旋转轴封易磨损,介质向外泄漏,真空度不稳定,稀有气体无法回收。

维护繁琐,必须返厂拆机,停机久

易损件更换要返厂拆机,设备停机周期长,影响精密仪器产线实验进度。

RM新时代官网网址WX干式涡旋真空泵核心优势

无油洁净真空,解决精密工况下各类泵体痛点。

单面涡旋干式无油,全密封无轴封

动静涡旋非接触干式压缩;金属波纹管静态密封,无旋转轴封,杜绝工艺介质外泄污染。

低噪音低振动,适配机柜集成

涡旋连续平稳压缩,气体脉动小;整机动平衡优化,噪音振动低,适合实验室、仪器内置。

几乎免维护,现场更换密封件

长效润滑轴承;维护仅更换涡旋顶部密封,无需特殊工具,操作员现场完成,不用返厂拆机。

分子泵、氦检仪理想干式前级泵

中真空区间性能优异,无油不污染腔体,适配涡轮分子泵、氦质谱检漏仪整套高真空系统。

多型号规格,可嵌入成套设备

WX0020H / WX0040H / WX0080H 全系列,单机或作为设备内置真空源均可。

原厂配件,精密工况技术支持

涡旋顶部密封、过滤器原厂现货;检漏、气体回收成熟经验,选型、故障排查、返厂维保全套支持。

了解我们的 干式真空泵 系列

螺杆真空泵

螺杆真空泵

  • 双螺杆非接触干式压缩,抽速大、极限真空高

  • 无油洁净,耐粉尘、可凝性气体能力强

  • 适合半导体、化工、制药、镀膜等苛刻工艺

  • 代表型号:LS系列

  • 可单独使用,也常作罗茨泵前级泵

爪式真空泵

爪式真空泵

  • 多级爪型转子非接触干式压缩,结构紧凑

  • 无油无磨损件,适合抽除可凝性气体

  • 低噪音低振动,长期运行稳定可靠

  • 代表型号:LC系列

  • 化工蒸馏、真空干燥、半导体前级预抽

涡旋真空泵

涡旋真空泵

  • 单面涡旋干式无油压缩,全密封无轴封

  • 低噪音低振动,几乎免维护,现场更换密封件

  • 氦质谱检漏仪、涡轮分子泵理想干式前级泵

  • 代表型号:WX系列

  • 分析仪器、气体回收、半导体镀膜、科研实验

无油旋片式真空泵

无油旋片式真空泵

  • 石墨旋片干式结构,无需真空泵油,无油雾污染风险

  • 输出洁净气体,保护物料不受油气污染

  • 适合食品、医药、运输、发电、对油气零容忍工艺

  • 代表型号:LX系列

  • 石墨叶片会产生微量石墨粉尘,必要前端增加过滤装置

无油活塞真空泵

无油活塞真空泵

  • 往复活塞全无油结构,泵腔无需润滑油,输出洁净气源

  • 机型小巧紧凑,便于嵌入设备机柜或自动化整机集成

  • 低噪音运行,H型侧高负压、V型侧大流量可按工况选型

  • 代表型号:LP系列

  • 适合制氧、医疗、实验室等洁净负压场景

罗茨真空泵

罗茨真空泵

  • 双转子非接触干式压缩,结构紧凑,中真空段抽速大

  • 干式无油运行,转子无磨损,需串联前级泵组成机组

  • 低噪音低振动,工业电机支持长时间连续运行

  • 代表型号:LR系列

  • 适合真空包装、镀膜、医药、电子及化工蒸馏前级抽真空

主力交流型号参数概览

无油真空泵系列规格一览,快速匹配工况选型。

电机功率 极限真空 额定电压 额定电流 额定流量 产品型号 产品类别
1.1 Kw 3 Pa AC△200-240V/Y345-415V 18 m3/h 3.0 A

LS 0020F

螺杆真空泵

4.6 Kw 2.0 Pa △345-415V/Y600-720V 180 m3/h 9.0△/5.2Y

LS 0200F

螺杆真空泵

7.5 Kw 5.0 Pa △345-415V/Y600-720V 396 m3/h 16.7△/9.6Y

LS 0400F

螺杆真空泵

15.0Kw 5.0 Pa △345-415V/Y600-720V 540 m3/h 32.5△/18.8Y

LS 0540F

螺杆真空泵

18.5Kw 1.0 Pa △345-415V/Y600-720V 800 m3/h 37.0△/21.0Y

LS 0800F

螺杆真空泵

RM新时代官网网址WX干式涡旋真空泵产品工作原理
  • WX干式涡旋真空泵基于单面涡旋技术,融合干式压缩与全封闭结构。泵体由固定涡旋盘与动涡旋盘组成。

  • 电机驱动动涡旋盘做偏心公转,动涡旋盘在固定涡旋盘内部轨道运动;持续形成、移动、缩小新月形压缩腔;气体由入口吸入,经涡旋腔压缩,从中心排气口排出。

  • 金属波纹管静态密封,无旋转轴封,防止工艺气体外泄;轴承长效润滑;维护仅需更换涡旋顶部密封件,无需特殊工具,操作员现场即可完成。

  • 整机低噪音低振动,是中真空分析仪器、科学设备久经验证的干式真空解决方案。

技术信息资料

整理真空泵相关技术参考资料,供选型、设备调试、故障排查查阅。

项目选型参考建议
  • 确认核心指标:需要的极限真空、实际抽气量;
  • 明确抽取介质:水汽、粉尘、腐蚀性气体等,决定是否要过滤、冷凝、防爆;
  • 确认使用环境:室内/户外、船上、高温高湿、粉尘环境;
  • 使用模式:间歇使用还是长时间连续运行;
  • 单机设备还是需要整套中央真空站。

适配行业与典型工艺

覆盖多领域精密制程,满足各类洁净真空使用需求。

适配行业

分析仪器行业

分析仪器行业

各类理化分析仪器配套,提供洁净无油中真空源。

半导体电子行业

半导体电子行业

半导体器件、电子器件处理,杜绝油蒸汽污染工件。

氦检检漏设备行业

氦检检漏设备行业

氦质谱检漏仪标配干式前级泵,保障检漏数据准确。

气体回收行业

气体回收行业

惰性气体、稀有气体回收,介质不受泵油污染。

涂装镀膜行业

涂装镀膜行业

样品镀膜、表面处理,干式无油保护膜层品质。

科研实验室行业

科研实验室行业

高校、研究所实验腔体,低噪适配室内实验环境。

医疗精密设备行业

医疗精密设备行业

精密医疗仪器配套真空源,洁净无油。

高能物理装备行业

高能物理装备行业

高能物理设备、光束线配套预抽真空单元。

典型工艺

氦质谱检漏仪配套

氦质谱检漏仪配套

作为氦检设备干式前级泵,保障检漏结果准确可靠。

涡轮分子泵前级预抽

涡轮分子泵前级预抽

干式无油前级泵,保护分子泵,搭建整套高真空系统。

惰性/稀有气体回收

惰性/稀有气体回收

全密封结构,回收气体不受泵油污染。

样品镀膜处理

样品镀膜处理

样品镀膜、薄膜沉积,无油避免膜层被污染。

科研实验腔体抽真空

科研实验腔体抽真空

实验室各类腔体预抽,低噪适合室内环境。

手套箱真空预处理

手套箱真空预处理

手套箱腔体预抽,获得洁净中真空环境。

电子器件真空处理

电子器件真空处理

电子元器件脱气、真空处理,保护器件品质。

小型成套仪器内置真空源

小型成套仪器内置真空源

直接嵌入设备机柜,作为整机内置干式真空单元。

使用限制:不适合抽取大量粉尘、强腐蚀性介质、大量可凝水汽;前端建议配置过滤器保护泵腔;不可抽取高浓度氧气介质。

选型建议:精密仪器、氦检漏、分子泵前级优先选用WX涡旋干泵;粗真空吸附场景可选用无油碳片旋片真空泵。

客户常见问答

解答干式真空泵选型、使用与维护各类疑问。

涡旋真空泵对比无油碳片旋片泵有什么区别?

涡旋泵动静涡旋非接触,无碳片消耗件,振动噪音更低,全密封无轴封泄露,更适合精密仪器检漏分子泵前级;碳片旋片依靠石墨碳片摩擦,碳片属于消耗件,更适合CNC、包装吸附粗真空工况。

涡旋泵可以直接当做分子泵前级泵吗?

WX系列干式涡旋泵就是涡轮分子泵理想干式前级泵,无油不会污染分子泵与腔体,广泛用于高真空分析设备。

“几乎免维护”代表完全不用保养吗?

不是;主要维护点为涡旋顶部密封件,可现场更换无需返厂;定期检查进气过滤器;轴承长效润滑,按周期巡检即可。

涡旋泵适合氦检漏、稀有气体回收吗?

非常适合,全静态密封无轴封泄漏;泵腔干式无油,不会污染氦气、各类稀有气体,保障回收气体纯净度。

可以提供密封件配件与维修吗?

原厂涡旋顶部密封、进气过滤器配件齐全;提供技术咨询、故障排查、返厂维保。

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产品展示
无油真空泵 旋片真空泵 干式真空泵 罗茨真空泵 无油压缩机 高压鼓风机